Расчет высоковакуумной системы массмонохорматора с плазменным источником ионов

Краткая выдержка из текста работы (Аннотация)

Введение

Ионная имплантация (ионное внедрение, ионное легирование) - введение примесных атомов в твёрдое тело бомбардировкой его поверхности ускоренными ионами. При ионной бомбардировке мишени происходит проникновение ионов в глубь мишени. Внедрение ионов становится существенным при энергии ионов Е>1 кэВ.

Движущиеся частицы в результате многократных столкновений постепенно теряют энергию, рассеиваются и в конечном итоги либо отражаются назад, либо останавливаются, распределяясь по глубине. Энергетические потери обусловлены как взаимодействием с электронами мишени (неупругие столкновения), так и парными ядерными (упругими) столкновениями, при которых энергия передаётся атомам мишени в целом и резко изменяется направление движения частицы.

Наиболее широко ионная имплантация применяется для легирования полупроводников с целью создания р-n-переходов, гетеропереходов, низкоомных контактов. Ионная имплантация позволяет вводить примеси при низкой температуре, в том числе примеси с малым коэффициентом диффузии, создавать пересыщенные твёрдые растворы.

Содержание работы

Введение 3

1. Схема конструкции вакуумной системы 6

1.1. Схема установки 6

1.2. Схема вакуумной системы 7

1.3. Описание работы установки 8

2. Методика расчета 9

2.1. Используемые в проекте формулы 9

3. Расчетная часть 10

3.1 Расчет высоковакуумной системы источника и ускорителя ионов 10

3.1.1. Исходные данные 10

3.1.2. Расчет идеальной системы без натекания 10

3.1.3. Расчет с учетом постоянного натекания 11

3.1.4. Расчет с учетом натекания, зависящего от времени 11

3.1.5. Выбор высоковакуумного насоса 14

3.1.6. Проверочные расчеты 14

3.2 Расчет высоковакуумной системы фильтра масс ионов 15

3.2.1. Исходные данные 15

3.2.2. Расчет идеальной системы без натекания 15

3.2.3. Расчет с учетом постоянного натекания 16

3.2.4. Расчет с учетом натекания, зависящего от времени 16

3.2.5. Выбор высоковакуумного насоса 18

3.2.6. Проверочные расчеты 19

3.3 Расчет высоковакуумной системы рабочей камеры 20

3.3.1. Исходные данные 20

3.3.2. Расчет идеальной системы без натекания 20

3.3.3. Расчет с учетом постоянного натекания 21

3.3.4. Расчет с учетом натекания, зависящего от времени 21

3.3.5. Выбор высоковакуумного насоса 23

3.3.6. Проверочные расчеты 24

3.4 Расчет низковакуумной системы 24

3.4.1. Исходные данные 24

3.4.2. Расчет низковакуумной системы 24

3.4.3. Выбор высоковакуумного насоса 25

4. Конструкторская часть 26

4.1. Фланцевое соединение 26

4.2. Вакуумный ввод поступательного движения 27

4.3. Вакуумный электрический ввод 28

4.4. Вакуумный оптический ввод 29

Заключение 30

Список литературы 31

Использованная литература

1. Розанов Л. Н. «Вакуумная техника», Москва, «Высшая школа», 1982
2. Данилин Б.С. Минайчев В.Е Основы конструирования вакуумных систем – М Машиностроение, 1978
3. Джонсон В. А. Конструирование вакуумных вводов движения с механической связью. – М.: МИФИ, 1991.
4. Университетское вакуумное общество «Унивак» [Электронный ресурс]. - Режим доступа: http://www.vacuum.ru/
5. Компания ИНТЕК \ Каталог оборудования [Электронный ресурс]. - Режим доступа: http://www.invac.ru/catalogue.shtml

Другие похожие работы

• Контрольная - Какое количество v газа находится в баллоне объемом V = 10 м3 при давлении p = 96 кПа и температуре t = 17° С?
• Контрольная - Определить изменение энтропии 3 кг азота в политропном процесе при изменении температуры от 100С до 300С. Показатель политропы n=1.2.
• Контрольная - За 5 мс магнитный поток, пронизывающий контур, убывает с 9 до 4 мВб. Найти ЭДС индукции в контуре.
• Контрольная - Задача №1. Сколько фотонов попадает за 1 с в глаза человека, если глаз воспринимает свет с длиной волны 0,5 мкм при мощности светового потока 2*10-17 Вт?
• Контрольная - Задача №2. Спутник вращается вокруг Земли по круговой орбите с периодом Т=105 мин. Определить радиус орбиты спутника. Ускорение свободного падения g у пове
• Контрольная - Нормаль к плоскости рамки составляет угол 30о с направлением однородного магнитного поля. Под каким углом установилась рамка по отношению к полю, если вращ
• Контрольная - Тело, брошенное вертикально вверх, вернулось на землю через время t = 3 с. Какова была начальная скорость v0 тела и на какую высоту h оно поднялось?
• Реферат - Создание квантовой механики
• Контрольная - При какой температуре средняя кинетическая энергия частиц равна энергии фотонов рентгеновского излучения с длиной волны 5 нм?
• Контрольная - Автотрансформатор, понижающий напряжение с U1 =6 кВ до U2 = 220 В, содержит в первичной обмотке N1 = 2000 витков. Со¬противление вторичной обмотки R2 =1 Ом